特許

J-GLOBAL ID：200903059981692390

感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法並びにけい光面形成方法

発明者： 森下▲はじめ▼ ,  鈴木 哲雄 ,  伊藤 雅人 ,  林 伸明 ,  野々垣 三郎 ,  西澤 昌紘 ,  右高 園子
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 薄田 利幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-275341
公開番号（公開出願番号）：特開平5-113661
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】高感度で、水溶液において粉体の分散性に優れた感光性組成物、それを用いたパターン形成方法、けい光面形成方法を提供すること。【構成】水溶性非感光性モノマー単位並びにアジド基及び電解性官能基を有するモノマー単位を少なくとも含む共重合体並びに該共重合体と反応する二重結合を側鎖に有するポリビニルアルコールの誘導体からなる感光性組成物と、これを用いたパターン形成方法及びけい光面形成方法。

請求項（抜粋）：

(1)水溶性非感光性モノマー単位並びにアジド基及び電解性官能基を有するモノマー単位を少なくとも含む共重合体並びに(2)該共重合体が光分解したときそれと反応する二重結合を側鎖に有するポリビニルアルコールの誘導体からなることを特徴とする感光性組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/012 501 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/021 511 ,  G03F 7/038 501 ,  H01J 1/64 ,  H01L 21/027