特許

J-GLOBAL ID：200903059986466770

湿度センサ素子の製造方法と湿度センサ素子

発明者： 渋江 明
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-062011
公開番号（公開出願番号）：特開2003-262600
出願日： 2002年03月07日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】【課題】 雰囲気中の水分を検知、定量するための、耐水性、耐溶剤性および耐ガス性に優れ、広い湿度領域でヒステリシスがなく、安定した出力特性を有する湿度センサ素子とその簡便な製造方法を提供する。【解決手段】絶縁基板上にギャップを介して対向するように一対の電極を有し、このギャップ上に感湿薄膜を有する湿度センサにおいて、絶縁基板の最表層の汚染物および/または酸化物を物理的手段により除去し、その後、この絶縁基板上に、エチレン性不飽和反応性基を有するモノマーを塗布した後、この絶縁基板上でこのモノマーを重合して感湿薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上にギャップを介して対向するように一対の電極を有し、このギャップ上に感湿薄膜を有する湿度センサの製造方法において、絶縁基板の最表層の汚染物および/または酸化物を物理的手段により除去し、その後、この絶縁基板上に、エチレン性不飽和反応性基を有するモノマーを塗布した後、この絶縁基板上でこのモノマーを重合して感湿薄膜を形成する湿度センサ素子の製造方法。

IPC (4件)：

G01N 27/12 ,  C08F 2/00 ,  C08F 20/34 ,  C08F 20/60

FI (7件)：

G01N 27/12 M ,  G01N 27/12 E ,  G01N 27/12 H ,  G01N 27/12 K ,  C08F 2/00 C ,  C08F 20/34 ,  C08F 20/60

Fターム (27件)：

2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BC04 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046FA01 ,  2G046FA02 ,  4J011AA05 ,  4J011CA02 ,  4J011CA06 ,  4J011CC09 ,  4J011CC10 ,  4J100AB15P ,  4J100AL08P ,  4J100AL66P ,  4J100AM21P ,  4J100AM23P ,  4J100BA03P ,  4J100BA31P ,  4J100BA32P ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA24 ,  4J100JA43