特許

J-GLOBAL ID：200903059988422363

原子間力顕微鏡

発明者： 中本圭一
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-079006
公開番号（公開出願番号）：特開平9-269223
出願日： 1996年04月01日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】 溶液中での観察をノンコンタクトモードで行い、圧電体素子のシーリングを不要にするとともに、圧電体素子への配線を容易にする。【解決手段】 溶液中の試料を保持する液中セルをスキャナ上に取付け、液中セル上部に設けたガラス窓内面にカンチレバ台を貼り付けてカンチレバを取付けて試料に対向させ、ガラス窓と液中セル間をゲルリングでシールするとともに、ガラス窓外面周縁に圧電素子を取付け、圧電素子を駆動してガラス窓ごとカンチレバーを振動させるようにしたものであり、圧電素子を溶液外に配置したことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

スキャナ上に取付けられ、溶液中で試料を保持する液中セルと、液中セル上部に設けられ、試料に対向するカンチレバを取付けたカンチレバ台が内面に貼り付けられたガラス窓と、ガラス窓と液中セル間をシールするゲルリングと、ガラス窓を介してカンチレバを励振するためのガラス窓外側周縁に取付けられた圧電素子と、圧電素子を励振する電源とからなる原子間力顕微鏡。