偏向ミラー、光走査装置および画像形成装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石橋佳之夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-166960
公開番号（公開出願番号）：特開2005-345866
出願日： 2004年06月04日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

【課題】共振周波数のばらつきがあっても所望の走査周波数で駆動できるようにし、生産効率に優れる振動ミラーを得ることができるようにする。【解決手段】光ビームを偏向する可動ミラー202と、可動ミラーと連結され回転軸心を規定するねじり梁208と、可動ミラーの少なくとも一部に回転トルクを発生するミラー揺動手段と、を有する偏向ミラーにおいて、ミラー揺動手段は、可動ミラー202の振れ角に応じて静電引力を発生する電極対を、可動ミラーの面内で回転軸と直交する方向に順次切り換えて振幅駆動する。静電引力を発生する電極対を、可動ミラーの面内で回転軸と直交する方向に沿って複数領域に分割して備え、個別に静電引力を発生させるようにするとよい。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

光ビームを偏向する可動ミラーと、可動ミラーと連結され回転軸心を規定するねじり梁と、可動ミラーの少なくとも一部に回転トルクを発生するミラー揺動手段と、を有する偏向ミラーにおいて、上記ミラー揺動手段は、上記可動ミラーの振れ角に応じて静電引力を発生する電極対を、可動ミラーの面内で回転軸と直交する方向に順次切り換えて振幅駆動することを特徴とする偏向ミラー。

IPC (4件)：

G02B26/10 , G03G15/04 , H04N1/036 , H04N1/113

FI (5件)：

G02B26/10 104Z , G02B26/10 B , G03G15/04 111 , H04N1/036 Z , H04N1/04 104Z

Fターム (32件)：

2H045AB10 , 2H045AB26 , 2H045AB44 , 2H045AB73 , 2H045BA22 , 2H045BA36 , 2H045DA02 , 2H076AB05 , 2H076AB13 , 2H076AB18 , 2H076EA01 , 2H076EA06 , 2H076EA11 , 5C051AA02 , 5C051CA07 , 5C051DA02 , 5C051DB02 , 5C051DB04 , 5C051DB22 , 5C051DB24 , 5C051DB30 , 5C051DC04 , 5C051DC07 , 5C051EA01 , 5C051FA01 , 5C072AA03 , 5C072BA13 , 5C072CA06 , 5C072DA04 , 5C072HA02 , 5C072HA14 , 5C072XA05

引用特許：

出願人引用 (8件)

特許第2924200号公報
特許第3011144号公報
光走査装置及び画像形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-056304 出願人：株式会社リコー

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