自動焦点検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249122
公開番号（公開出願番号）：特開平7-104178
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】本発明は、コントラスト特性に極大点が複数ある場合であっても、合焦時間が短く、合焦精度の高い合焦動作を実現することを目的とする。【構成】ステージ1上に載置した被写S体の光像を対物レンズ3を介して取り込み被写体像を結像さるせ結像光学系と、結像光学系の予定結像面に対して光学的に共役な前後の位置に形成される前ピン像と後ピン像とを読み取るイメージセンサ6と、イメージセンサ6からの前ピン像,後ピン像の各画像信号から評価関数に基づいてコントラスト値を演算するコントラスト演算手段12と、前ピン像のコントラスト値と後ピン像のコントラスト値とを比較するコントラスト比較手段と、イメージセンサ6上に形成された前ピン像と後ピン像の形状を比較する画像形状比較手段8と、各比較結果に基づいて駆動方向及び駆動量を制御する駆動制御手段とを具備する構成である。

請求項（抜粋）：

ステージ上に載置した被写体の光像を対物レンズを介して取り込み所定位置に被写体像を結像さるせ結像光学系と、前記結像光学系の予定結像面に対して光学的に共役な前後の位置に形成される前ピン像と後ピン像とを読み取る少なくとも一つのイメージセンサと、前記イメージセンサから出力された前ピン像および後ピン像の各画像信号から所定の評価関数に基づいて両者のコントラスト値を演算するコントラスト演算手段と、前記コントラスト演算手段で算出された前ピン像のコントラスト値と後ピン像のコントラスト値とを比較するコントラスト比較手段と、前記イメージセンサ上に形成された前ピン像と後ピン像の形状を比較する画像形状比較手段と、前記ステージと前記対物レンズとの光軸方向の相対位置を変化させる駆動手段と、前記コントラスト比較手段と前記画像形状比較手段の各比較結果に基づいて前記駆動手段の駆動方向及び駆動量を制御する駆動制御手段とを具備したことを特徴とする自動焦点検出装置。

IPC (4件)：

G02B 7/36 , G02B 7/28 , G02B 21/00 , H04N 5/232

FI (2件)：

G02B 7/11 D , G02B 7/11 J

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