オゾン発生方法と装置及びその使用方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：吉嶺桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-299092
公開番号（公開出願番号）：特開平8-133707
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：

【要約】【目的】オゾンガス送出配管としてステンレス鋼管を用いても発生するオゾンガス中のCr化合物を大巾に低減できるオゾン発生方法と装置を提供する。【構成】原料ガスを供給する原料ガス供給口8と高電圧を印加する手段16と発生するオゾンの排出口10とを有するオゾン発生セル9及び発生したオゾンを送出するオゾン送出路11、12を具備するオゾン発生装置7において、原料ガスとして酸素1に二酸化炭素及び/又は一酸化炭素2を10〜20vol%添加したガスを用いることとしたものであり、このようにして製造したオゾンは金属酸化物、特にシリコン酸化物の形成に好適に用いることができる。

請求項（抜粋）：

酸素を含む原料ガスに高電圧を印加してオゾンを発生させる方法において、原料ガスとして酸素に、二酸化炭素及び/又は一酸化炭素を10〜20vol%添加したガスを使用することを特徴とするオゾン発生方法。

IPC (3件)：

C01B 13/11 , C01B 13/14 , C01B 33/12

引用特許：

審査官引用 (14件)

特公昭35-002262
特開昭55-121903
特開平1-282104

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