特許
J-GLOBAL ID：200903060005463473

超音波モータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器、印刷装置

発明者：
飯野 朗弘

飯野 朗弘 について

, 
春日 政雄

春日 政雄 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-070997
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271480
出願日： 1998年03月19日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 位置決め精度の向上を図り、機構が簡単かつ小型であるとともに、磁化を避ける環境下でも使用できるようにする。【解決手段】 一の方向に移動自在な第1の移動体と、前記第1の移動体に伴って一の方向へ移動するとともに、前記一の方向と異なる他の方向へ移動自在な第2の移動体と、を備えたステージにおいて、前記第1の移動体に当接させて、この移動体を前記一の方向へ移動させる第1の超音波モータと、前記第2の移動体に当接させて、この移動体を前記他の方向へ移動させる第2の超音波モータと、を備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
一の方向に移動自在な第1の移動体と、前記第1の移動体に伴って一の方向へ移動するとともに、前記一の方向と異なる他の方向へ移動自在な第2の移動体と、を備えたステージにおいて、前記第1の移動体に当接させて、この移動体を前記一の方向へ移動させる第1の圧電アクチュエータもしくは超音波モータと、前記第2の移動体に当接させて、この移動体を前記他の方向へ移動させる第2の圧電アクチュエータもしくは超音波モータと、を備えたことを特徴とするステージ。
IPC (4件)：
G12B 5/00 ,  B23Q 1/25 ,  B41J 2/44 ,  H02N 2/00
FI (4件)：
G12B 5/00 T ,  H02N 2/00 C ,  B41J 3/00 D ,  B23Q 1/18 A
引用特許：
出願人引用 (8件)
  • 特開平2-111271
  • 超音波モータ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-216750   出願人：松下電器産業株式会社
  • 超音波振動子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-330155   出願人：オリンパス光学工業株式会社
全件表示
審査官引用 (7件)
  • 特開平2-111271
  • 超音波モータ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-216750   出願人：松下電器産業株式会社
  • 超音波振動子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-330155   出願人：オリンパス光学工業株式会社
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM