特許

J-GLOBAL ID：200903060006643319

石英発泡体の製造方法

発明者： 岩谷 富士雄 ,  円谷 健男 ,  関根 仁
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-105524
公開番号（公開出願番号）：特開平5-279083
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 水酸基を50ppm以上含有する石英ガラスの粉体と該石英ガラス粉体の0.5〜10重量%の合成石英ガラス短繊維との組成物を湿式混合して成形し、その成形体をアンモニア雰囲気中で800〜1300°Cの範囲の温度に加熱してアンモニア化反応させ、次いで、1350〜1700°Cの範囲の温度に加熱して発泡させる。【効果】 本発明の方法によれば、特に、VAD及びCVD法において生ずる石英ガラスの微細なス-トパ-ティクルを有効利用して木目の細かい均質な独立気泡性の発泡体を優れた操作性で得ることができ、その高純度石英製発泡体は、優れた保温性と耐熱性を有し、特に半導体工業におけるウエ-ハ等の熱処理用治具として極めて有用である。

請求項（抜粋）：

水酸基を50ppm以上含有する石英ガラスの粉体と該石英ガラス粉体の0.5〜10重量%の合成石英ガラス短繊維との組成物を湿式混合して成形し、その成形体をアンモニア雰囲気中で800〜1300°Cの範囲の温度に加熱してアンモニア化反応させ、次いで、1350〜1700°Cの範囲の温度に加熱して発泡させることを特徴とする石英発泡体の製造方法。

IPC (3件)：

C03C 11/00 ,  C03B 19/08 ,  C03B 20/00