特許

J-GLOBAL ID：200903060018208855

ポジチブ及びネガチブ処理感放射線混合物用ポリマー結合剤及びその結合剤を含む混合物の画像形成方法

発明者： ラインホルト、シュヴァルム ,  ホルスト、ビンダー
出願人/特許権者： ビーエーエスエフ アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 田代 烝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-060810
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026828
出願日： 1989年05月10日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、放射線の作用で強酸を形成する有機化合物との混合使用で、アルカリ水溶液で現像され、しかもポジチブ処理もネガチブ処理も可能なレリーフパターン作製用の高活性感放射線組成物に好適なポリマー結合剤及び良好な画像が得られる、ポリマー結合剤を含む感放射線混合物を短波長紫外にて露光する画像形成方法を提供することである。【解決手段】本発明は、フェノール性ヒドロキシル基含有ポリマーのヒドロキシル基とジヒドロピラン或はアルキルビニルエーテルとの反応生成物、或はフェノール性ヒドロキシル基含有モノマー化合物のヒドロキシル基とジヒドロピラン或はアルキルビニルエーテルとの反応生成物の重合或は重縮合により得られる重合体或は重縮合物からなるポリマー結合剤を特徴とし、さらにポリマー結合剤を含む感放射線混合物を短波長紫外にて露光する画像形成方法を特徴とする。

請求項（抜粋）：

フェノール性ヒドロキシル基含有ポリマーのヒドロキシル基とジヒドロピラン或はアルキルビニルエーテルとの反応生成物、或はフェノール性ヒドロキシル基含有モノマー化合物のヒドロキシル基とジヒドロピラン或はアルキルビニルエーテルとの反応生成物の重合或は重縮合により得られる重合体或は重縮合物からなることを特徴とするポジチブ及びネガチブ処理感放射線混合物用ポリマー結合剤。

IPC (10件)：

G03F 7/038 601 ,  C08K 5/372 ,  C08L 25/18 ,  C08L 61/08 ,  C09D125/18 ,  C09D161/08 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027 ,  C08F 8/00

FI (10件)：

G03F 7/038 601 ,  C08K 5/372 ,  C08L 25/18 ,  C08L 61/08 ,  C09D125/18 ,  C09D161/08 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/039 601 ,  C08F 8/00 ,  H01L 21/30 502 R