特許

J-GLOBAL ID：200903060028470027

ドア作動式ウェーハ制止部を備えるウェーハ容器

発明者： バーンズ、ジョン ,  フラー、マシュー エイ. ,  キング、ジェフリー ジェイ. ,  フォーブズ、マーティン エル. ,  スミス、マーク ブイ.
出願人/特許権者： インテグリス・インコーポレーテッド
代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-540015
公開番号（公開出願番号）：特表2007-529880
出願日： 2004年11月16日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：

ウェーハを保持するための容器は、上面、底面、1対の対向面、背面、ドアフレームにより規定される対向開口前部をもつ筐体を含む。ドアは、開口前部を閉止するため、ドアフレームにおいて封止的に係合可能である。容器はさらに、固定式ウェーハ制止手段および操作可能ウェーハ制止手段を含む筐体内ウェーハ制止手段を含む。操作可能ウェーハ制止手段は、ドアフレームに対してドアを係脱することで選択的に位置決め可能であり、ドアがドアフレームから離脱する場合、容器に対してウェーハの挿入あるいは除去を可能にするよう位置決めされ、ドアがドアフレームと係合する場合、ウェーハを容器内で制止するため、固定式ウェーハ制止手段と協動するよう位置決めされる。

請求項（抜粋）：

ウェーハと、このウェーハを保持するための容器との組み合わせであって、この容器が、 上面、底面、1対の対向面、背面、ドアフレームにより規定される対向開口前部をもつ筐体部と、 開口前部を閉止するため、ドアフレームにおいて封止的に係合可能なドアと;

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  B65D85/38 R

Fターム (30件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA06 ,  3E096CB03 ,  3E096DA01 ,  3E096DA05 ,  3E096DA17 ,  3E096DB07 ,  3E096DB08 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA09 ,  3E096FA23 ,  3E096FA26 ,  3E096GA07 ,  3E096GA09 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA12 ,  5F031EA02 ,  5F031EA10 ,  5F031EA11 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031LA15 ,  5F031LA16 ,  5F031PA20

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 米国特許第6,644,477号明細書
  
• 米国特許第6,267,245号明細書
  
• 米国特許第6,216,874号明細書
  
• 米国特許第6,206,196号明細書
  
• 米国特許第6,010,008号明細書
  
• 米国特許第5,944,194号明細書
  

審査官引用 (2件)

• クリーンボックス内ウエハ固定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-204383   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 特開平3-257845