特許
J-GLOBAL ID：200903060029901331
蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-324445
公開番号（公開出願番号）：特開平9-165671
出願日： 1995年12月13日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 蒸着方法に関し、特にCr2O3の蒸着方法において、六価クロムを発生させることなく蒸着を行う方法を提供する。【解決手段】 蒸着行程の蒸着時を酸素雰囲気中とし、Crを試料として蒸散させることにより、基板にCr2O3膜を形成する。
請求項（抜粋）：
真空装置中にて基板にCr2O3の蒸着を行う真空蒸着工程において、真空排気を行い目標とする真空度に到達後、酸素を導入し、酸素雰囲気中でCrを蒸散させ、基板上にCr2O3膜を形成することを特徴とする真空蒸着方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/08 J
, C23C 14/24 N
