特許
J-GLOBAL ID：200903060034316595
アルミニウム板、その製造方法及び該アルミニウム板を用いた防着カバー
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323624
公開番号（公開出願番号）：特開平7-180091
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月18日
要約：
【要約】【構成】 アルミニウム又はアルミニウム合金からなる母材の表面に封孔処理された水和物からなる酸化被膜を有し、該酸化被膜の厚さが10〜150μmで、該酸化被膜における母材以外の金属不純物の含有量が1ppb以下であるアルミニウム板。【効果】 酸化被膜は開孔気孔を殆ど有さず、化学的に安定であるため耐食性に優れ、高熱の環境等にさらされても金属等の周囲への拡散を防止することができる。従って、プラズマ処理装置の防着カバー等に好適に用いることができる。
請求項（抜粋）：
アルミニウム又はアルミニウム合金からなる母材の表面に封孔処理された水和物からなる酸化被膜を有し、該酸化被膜の厚さが10〜150μmで、該酸化被膜における母材以外の金属不純物の含有量が1ppb以下であることを特徴とするアルミニウム板。
IPC (3件)：
C25D 11/18 301
, C23C 16/50
, C23F 4/00
