特許
J-GLOBAL ID：200903060039079605
非晶質硬質炭素膜及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩澤 寿夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121047
公開番号（公開出願番号）：特開平7-054150
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年02月28日
要約：
【要約】【目的】 基材との密着性に優れ、かつ耐摩耗性と摺動特性(摩擦係数)のような潤滑特性が特に改善された非晶質硬質炭素膜、その製造方法、及び非晶質硬質炭素膜を用いた機械部品の提供。【構成】 基材上に蒸着させた非晶質硬質炭素膜であって、ケイ素及び窒素をさらに含有する非晶質硬質炭素膜。炭素原料、ケイ素原料及び窒素原料を、基材を設置した蒸着室内に導入し、前記基材上にケイ素及び窒素を含有する非晶質硬質炭素膜を蒸着させる方法。摺動部分を有する機械部品であって、少なくとも前記摺動部分を前記非晶質硬質炭素膜で被覆した機械部品。
請求項（抜粋）：
基材上に蒸着させた非晶質硬質炭素膜であって、ケイ素及び窒素をさらに含有する非晶質硬質炭素膜。
IPC (4件)：
C23C 16/26
, C01B 31/02 101
, C23C 14/06
, F16C 33/12
