特許

J-GLOBAL ID：200903060046779418

搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段

発明者： 小池 土志夫 ,  武松 忠
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-238906
公開番号（公開出願番号）：特開平6-063885
出願日： 1992年08月14日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】非接触の状態で静電チャックへの供電を可能にする搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段を提供する。【構成】搬送用ロボットの試料把持部の静電チャック3への供電手段は、電力を供給する発振器4と、固定された一次コイル2を接続すると共に、搬送用ロボットの試料把持部に左右に回転自在な二次コイル1を一次コイル2と同軸状に設け、一次コイル2によって二次コイル1に誘導起電力を発生させる。

請求項（抜粋）：

電力を供給する発振器に、固定された一次コイルを接続すると共に、搬送用ロボットの試料把持部に左右に回転自在な二次コイルを一次コイルと同軸状に設け、一次コイルによって二次コイルに誘導起電力を発生させることを特徴とする搬送用ロボットの試料把持部の静電チャックへの供電手段。

IPC (2件)：

B25J 15/00 ,  B25J 15/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-002487
  
• 特開昭59-129686
  
• 特開昭62-086837