特許
J-GLOBAL ID：200903060047608331
変位検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-147672
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340706
出願日： 1992年06月08日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 測定子の変位に無関係に測定力を一定に設定して測定精度の向上を図る。【構成】 測定子74、96の変位に無関係に測定子の測定力を一定に設定するボイスコイルモータ66、88を備えて、測定子74、96の摩擦力やたわみ量を一定に維持する。また、測定子74、96の変位量に比例する複数軸方向への測定力が同一の測定力となるように設定するボイスコイルモータを備えた。従って、複数の方向変位を可能とする変位検出器でワーク76、98を測定する場合でも1軸分の反力手段に対する補正量を設定するだけで他軸の補正が可能になる。さらに、各軸方向において同一となるように設定された測定力を相殺すると共に、測定子74、96の変位に無関係に測定子の測定力を一定に設定するボイスコイルモータを備えた。従って、測定子74、96の変位量に比例する複数軸方向への測定力が同一の測定力となるように設定した場合と、測定子74、96の変位に無関係に測定子の測定力を一定に設定した場合とを任意に選択できる。
請求項（抜粋）：
測定子を被測定物に接触させた状態で測定子を被測定物の表面に沿って移動させて、測定子の変位に比例した反力を測定力として付与しながら被測定物の形状等を測定する変位検出器において、前記測定子の変位と無関係に測定子の測定力を一定に設定する手段を備えたことを特徴とする変位検出器。
IPC (4件)：
G01B 5/20
, G01B 5/00
, G01B 7/00
, G01B 21/00
