特許
J-GLOBAL ID:200903060050539111

光センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐野 静夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-181426
公開番号(公開出願番号):特開2001-015774
出願日: 1999年06月28日
公開日(公表日): 2001年01月19日
要約:
【要約】【課題】 光の利用効率が高く、感度のよい光センサを提供する。【解決手段】 ガラス等の透明基板1上にアモルファス半導体光センサの光電変換部2を形成し、透明基板1の光電変換部2とは反対側の面に、分光反射膜として誘電体多層膜3を形成する。光電変換部2に入射した光は、一部が光電変換部2で吸収される。光電変換部2を透過した光のうち特定の波長の光が誘電体多層膜3により良好に反射されて、再び光電変換部2に入射し、吸収される。誘電体多層膜3は、光電変換部2において感度が悪い、すなわち光電変換の効率の悪い波長の光を反射する特性を有しており、その感度の悪い波長の光のみを反射して、光電変換部2に再入射させることで、該波長の光の感度を増加させている。これにより、光電変換部2の波長による感度補正がなされ、感度のよい光センサを得ることができる。
請求項(抜粋):
光電変換部の光入射側に対して反対側に、分光反射膜を設けたことを特徴とする光センサ。
Fターム (7件):
5F088AB05 ,  5F088BA01 ,  5F088BA05 ,  5F088BA20 ,  5F088GA02 ,  5F088HA07 ,  5F088HA09

前のページに戻る