特許
J-GLOBAL ID:200903060071771634
ワーク洗浄処理装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西山 春之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-217426
公開番号(公開出願番号):特開平6-045307
出願日: 1992年07月24日
公開日(公表日): 1994年02月18日
要約:
【要約】【目的】 ワーク洗浄処理装置において、処理槽を小形化すると共に洗浄液量を低減し且つワーク上の残留液を減少する。【構成】 ワーク1に対し噴射した洗浄液を受ける処理槽2の内部にてスプレーノズル4a〜4mの近傍に、搬送ローラ系3で搬送されてきたワーク1を下面側から保持すると共に該ワーク1を所定角度で傾斜させて支持し且つ回転可能とされたスピンヘッド6を設け、このスピンヘッド6のシャフト7には、上記スピンヘッド6を搬送ローラ系3の下方から上方まで上昇、下降させると共に低速回転させる回転駆動機構8を設ける。これにより、処理槽2を小形化できると共に、洗浄液料を低減し且つワーク1上の残留液を減少することができる。
請求項(抜粋):
ワークに対し噴射した洗浄液を受ける処理槽と、この処理槽の一側端から他側端に向けて所定間隔で二列に並べられワークを搬送する搬送ローラ系と、この搬送ローラ系の上方及び下方に対向して設けられ上記ワークの上下面に洗浄液を噴射する複数のスプレーノズルとを有するワーク洗浄処理装置において、上記処理槽の内部にてスプレーノズルの近傍に、上記搬送ローラ系で搬送されてきたワークを下面側から保持すると共に該ワークを所定角度で傾斜させて支持し且つ回転可能とされたスピンヘッドを設け、このスピンヘッドのシャフトには、上記スピンヘッドを搬送ローラ系の下方から上方まで上昇、下降させると共に低速回転させる回転駆動機構を設けたことを特徴とするワーク洗浄処理装置。
IPC (2件):
H01L 21/304 341
, B08B 3/02
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