特許
J-GLOBAL ID:200903060082664570
アンモニアセンサ及びその制御方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
足立 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-197479
公開番号(公開出願番号):特開2004-037378
出願日: 2002年07月05日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
【課題】感度が大きく且つ選択性の高いアンモニアセンサ及びその制御方法を提供すること。【解決手段】アンモニアセンサ(1)は、絶縁基板(5)上にリード部(7)、(9)が配置され、各リード部(7)、(9)には一対の櫛歯電極(11)、(13)が接続され、櫛歯電極(11)、(13)の上には、感応層(15)が配置され、感応層(15)の上には、保護層(17)が配置されている。金製の櫛歯電極(11)、(13)は、互いの櫛歯が入り込んだ構造を有する。この櫛歯電極(11)、(13)の櫛歯間距離Aは、0.15mm以下の範囲であり、両櫛歯電極(11)、(13)が形成される単位面積当たりの電極の総長さB/Cは、4.00〜10.0mm/mm2の範囲である。感応層(15)は、ゼオライトの感ガス材料からなる。この感ガス材料は、周囲の雰囲気のアンモニア濃度が変化すると、その抵抗値が変化する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
一対の電極が配置された感応層を有する素子部と、該素子部を加熱するヒータと、を備えたアンモニアセンサにおいて、
前記一対の電極がAuを含有し、前記感応層を構成する物質の酸量が0.1〜1.0mmol/gであることを特徴とするアンモニアセンサ。
IPC (1件):
FI (2件):
G01N27/12 C
, G01N27/12 B
Fターム (18件):
2G046AA10
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BC03
, 2G046BC05
, 2G046BC08
, 2G046BE03
, 2G046BF01
, 2G046BF02
, 2G046DB03
, 2G046DB05
, 2G046EA02
, 2G046EA04
, 2G046EA09
, 2G046FB01
, 2G046FE03
, 2G046FE38
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平4-220554
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特開平4-013957
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特開昭48-048190
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