特許
J-GLOBAL ID：200903060092222690
レーザ加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-179816
公開番号（公開出願番号）：特開平11-028590
出願日： 1997年07月04日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】印刷配線基板20に穴を加工するレーザ加工装置において、レーザビームの走査領域より大きな印刷配線基板でも孔明けすべき位置に正確に真円度の良い穴明けすることを図る。【解決手段】円形状に収束されたレーザ光13に収差が生じさせない程度に走査範囲を留め、この走査範囲に応じた大きさの印刷配線基板の一領域を覆い複数の所定の貫通穴8をもつマスク1と、このマスク1に印刷配線基板への押圧力を与えるとともにマスク1を冷却しかつスパッタを飛散させるガスを吹き付ける枠3とを設け、マスク1が温度が上らないようにマスク1を印刷配線基板20の一領域に押え、レーザ光13を走査し穴明けを行なう。
請求項（抜粋）：
レーザ光を発生させるレーザ発振器と、一対のガルバノメータとfθレンズとで構成され前記レーザ光をXおよびY方向に走査させる走査機構を備えるレーザ加工装置において、前記走査機構によって前記レーザ光が走査する範囲の大きさの走査領域に対応する印刷配線基板の一領域を覆うとともに所定の位置に複数の貫通穴を有する板状のマスク部材と、レーザ光ヘッドから垂下され取り付けられるともに前記マスク部材を前記印刷配線基板の一領域に押し付けるためにガスを吹き付ける複数のガス噴出口を有する枠部材と、前記マスク部材を保持するとともに前記枠部材のガイドピンを摺動しかつ該ガイドピンの先端に固定されるマスクホルダと、前記印刷配線基板の一領域の位置を認識する認識手段と、前記印刷配線板を載置し移動させて認識された前記印刷配線基板の一領域に前記マスク部材に位置合せするXYステージとを備えることを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (5件)：
B23K 26/02
, B23K 26/00 330
, B23K 26/06
, B23K 26/14
, H05K 3/00
B23K 26/02 A
, B23K 26/00 330
, B23K 26/06 J
, B23K 26/14 Z
, H05K 3/00 N
