特許

J-GLOBAL ID：200903060097882019

中空導波路

発明者： 松本 和久
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-119532
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331846
出願日： 1993年05月21日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】高出力レーザ光の伝送特性及び耐候性に優れた長寿命の中空導波路を提供する。【構成】管状の誘電体層3で中空領域5を構成し、この領域5に高出力のレーザ光を伝送させる中空導波路である。誘電体層3として、CO2 レーザ等に対応して赤外波長域で吸収の少ない材料を用い、誘電体層3の内壁に化学的に安定なZnS層4を形成する。誘電体層3としては、Ge,ZnSe,PbF2 ,CaF2 ,BaF2 ,KCl,CdTe,CsBr,GaAs,KBr,KRS-5,NaClのうち少なくとも1つを用いる。ZnS層により、製造工程で母材をエッチング除去するときに誘電体層3が直接エッチング液に接触することがなく、レーザ光の波長等の条件に合せて最適の材料(Ge,CaF2 等)を選定できる。

請求項（抜粋）：

管状の誘電体で中空領域を構成し、当該中空領域に高出力のレーザ光を伝送させる中空導波路において、前記誘電体として赤外波長域で吸収の少ない材料を用い、当該誘電体の内壁にZnS層を形成したことを特徴とする中空導波路。