特許

J-GLOBAL ID：200903060105385305

外観検査装置および検査方法

発明者： 八明 利親
出願人/特許権者： NECセミコンダクターズ九州株式会社
代理人 (1件)： 徳丸 達雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-071659
公開番号（公開出願番号）：特開2004-279236
出願日： 2003年03月17日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】従来の外観検査装置においては、選別コンタクト跡があると、この部分が画像上黒く写って黒色異物と見分けがつかず誤検出の原因となる。また、ボイドの検出、白いリード上の白い半田屑の検出ができなかった。【解決手段】本発明の照明装置は、撮像するためのCCDカメラ5、照明装置下方に撮像対象であるIC8を配置する。照明装置は、半球上の導光板7でできており、上部に撮像のための開口部6を有する。LEDは、アクリル導光板7の内側約40°の位置に同心円状に設置した第1のLED群、アクリル導光板7を内側から照らし、その反射光でIC8を照らすため同心円状に設置した第2のLED群、アクリル導光板に光を導光させアクリル導光板7全体から光を照射するために同心円状に配置された第3のLED群、IC8のリード平坦部9aに光を水平方向から照射するための第4のLED群からなる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

撮像装置と、上部に撮像のための開口部を有した半球状の導光板と、前記導光板の内側の検査対象に対して斜め上方の位置に同心円状に設置した第1の光源群と、導光板を内側から照らしその反射光で前記検査対象を照明するために同心円状に設置した第2の光源群と、導光板に光を導光させこの導光板全体から光を前記検査対象に照射するために導光板の断面に同心円状に配置された第3の光源群と、前記検査対象に光を水平方向から照射するための第4の光源群とからなる照明装置と、を持つことを特徴とする外観検査装置。

IPC (1件)：

G01N21/956

FI (1件)：

G01N21/956 A

Fターム (8件)：

2G051AA51 ,  2G051AA61 ,  2G051AB02 ,  2G051AC22 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01