特許
J-GLOBAL ID：200903060106557096
感光性組成物及びレリーフパターンの製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-229530
公開番号（公開出願番号）：特開平11-065113
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 優れた感光特性を損なうことなく優れた保存安定性を示し、かつ高解像度でプロセス安定性の良好な感光性組成物並びに優れた耐熱性、解像性及び耐薬品性を示し形状の良好なレリーフパターンの製造法を提供する。【解決手段】 (A)450nmから600nmに吸収を持つ色素化合物、(B)一般式(I)【化1】(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9及びR10は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環である)で示されるチタノセン化合物、(C)シアノ基、ニトロ基又はアルキルスルホン基を有するN-アリール-α-アミノ酸及び(D)付加重合性基を有する化合物又は付加重合性基を有する重合体を含有してなる感光性組成物並びにこの感光性組成物の塗膜上にパターンを描いたマスク上から活性光線を照射し、未照射部を現像除去することを特徴とするレリーフパターンの製造法。
請求項（抜粋）：
(A)450nmから600nmに吸収を持つ色素化合物、(B)一般式(I)【化1】(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9及びR10は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環である)で示されるチタノセン化合物、(C)シアノ基、ニトロ基又はアルキルスルホン基を有するN-アリール-α-アミノ酸及び(D)付加重合性基を有する化合物又は付加重合性基を有する重合体を含有してなる感光性組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/028
, G03F 7/004 505
, G03F 7/008
, G03F 7/027 514
, G03F 7/029
, G03F 7/038 504
, H01L 21/027
, H01L 21/312
G03F 7/028
, G03F 7/004 505
, G03F 7/008
, G03F 7/027 514
, G03F 7/029
, G03F 7/038 504
, H01L 21/312 B
, H01L 21/30 502 R
