特許

J-GLOBAL ID：200903060113435702

微小移動装置

発明者： 岡崎 光宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-254961
公開番号（公開出願番号）：特開平8-126354
出願日： 1994年10月20日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】 移動体の駆動速度を制御することができるようにして、移動体の高精度な位置決めを可能にした微小移動装置を提供する。【構成】 強磁性体の固定体4上に配置され、電磁石6を内蔵する移動体1と、移動体1に装着された圧電素子2と、圧電素子2の端部に装着された質量体3とと、電磁石6の通電量を制御する電磁石駆動回路7と、圧電素子2の印加電圧を制御する圧電素子駆動回路8とを備えている。

請求項（抜粋）：

強磁性面を有する固定体と、前記固定体上に配置され、電磁石を内蔵する移動体と、前記移動体に装着された電気/機械変換素子と、前記電気/機械変換素子に装着された質量体と、穏やかに変化する波形の第1の電圧と急激に変化する波形の第2の電圧とを前記電気/機械変換素子に印加する電気/機械変換素子駆動部と、前記電磁石の磁力を制御する電磁石駆動部とを備えることを特徴とする微小移動装置。