振動ピックアップの校正装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯沼義彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087672
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222356
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】マイケルソン式干渉計を用いた振動ピックアップの校正装置の精度向上をはかる。【解決手段】マイケルソン式干渉計における干渉縞検出部に、干渉縞の波形を180° 位相差信号として取り出すべく2個のホトトランジスタ15a〜15c,15b〜15dを配設し、各組みの出力の差動で信号を取り、同信号に基づき干渉縞の数をカウントすることにより、測定系の外乱(ノイズ)ヤトランジスタのドリフトに伴う計測誤差を抑制でき、測定精度の向上を可能にした。符号1は光源,2Aは分割鏡,4aは振動鏡を示す。

請求項（抜粋）：

振動ピックアップを取り付けられる加振機と、レーザ発光器と、上記振動ピックアップの端面に取付けられたミラーと、固定鏡としての参照鏡と、上記レーザ発光器から発光されたレーザ光を上記のミラーと参照鏡とに分割するビームスプリッタと、上記レーザ光の上記ミラーによる反射レーザ光と上記参照鏡による反射レーザ光とが干渉して生成した干渉縞を検出する光電変換素子とからなる光波干渉計をそなえ、上記光波干渉計の干渉縞の検出部に、同干渉縞を位相差180°の2つの波形信号として取り出すべく2個の光電変換素子が設けられ、同光電変換素子で取り出された位相差180°の信号を差動処理する信号処理回路と、同信号処理回路から取り出された信号に基づき上記干渉縞の数をカウントする計数手段とが設けられていることを特徴とする、振動ピックアップの校正装置。

IPC (3件)：

G01H 9/00 , G01H 17/00 , G01P 21/00

FI (3件)：

G01H 9/00 C , G01H 17/00 D , G01P 21/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-024819
特開昭49-019872
特開昭50-040184

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