ヒ-タ電極の温度制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：功力妙子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-301576
公開番号（公開出願番号）：特開平8-138831
出願日： 1994年11月10日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】プリント基板へのLSIリ-ドやICリ-ドの接合,被覆極細線の接合,薄膜,厚膜へのリ-ド線の接合等の際に用いられるヒ-タ電極の温度制御装置の提供。【構成】加熱電流をヒ-タ電極に供給し,ヒ-タ電極の検出温度と予め設定した温度とを比較し,両者の温度差に対応する電圧を帰還してヒ-タ電極温度を設定温度に保持すべく加熱電流を連続制御する電流制御部を備えたヒ-タ電極の温度制御装置において,ヒ-タ電極の表面に貼着された非酸化耐熱性の高熱伝導導電部材で形成されたシ-ルと,このシ-ルを測温する赤外線放射温度計と,この赤外線放射温度計からの温度と設定温度とを比較してその温度差を得て,この温度差に対応する電圧を電流制御部に帰還する制御回路とを具備し,赤外線放射温度計からのシ-ルの温度と設定温度との差を電圧帰還してヒ-タ電極の加熱電流を制御してこのヒ-タ電極の温度を制御する。

請求項（抜粋）：

交流電源からの加熱電流をヒ-タ電極に供給し,このヒ-タ電極から検出した温度と予め設定した温度とを比較し,両者の温度差に対応する電圧を帰還して前記ヒ-タ電極温度を前記設定温度に保持すべく前記加熱電流を連続制御する電流制御部を備えたヒ-タ電極の温度制御装置において,前記ヒ-タ電極の表面に貼着された非酸化耐熱性の高熱伝導導電部材で形成されたシ-ルと,このシ-ルを測温する赤外線放射温度計と,この赤外線放射温度計からの温度と前記設定温度とを比較してその温度差を得て,この温度差に対応する電圧を前記電流制御部に帰還する制御回路とを具備することを特徴とするヒ-タ電極の温度制御装置。

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭61-013589
特開平3-095322
特開昭53-099188

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