特許
J-GLOBAL ID：200903060120516270
表面電位計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238458
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065878
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 従来のR・C積分回路を用いた表面電位計と比較し、より高速の応答性能を有する表面電位計を得る。【解決手段】 所定の試料(2)の表面に帯電した電荷による電位を測定する表面電位計において、試料(2)に対応して配置された誘導電極(3)と、誘導電極(3)と協同して交流信号を生成する手段(8)と、交流信号生成手段(8)の出力信号を増幅する増幅器(7)と、増幅器(7)の出力を検波する検波器(9)と、検波器(9)に接続されたピークホールド回路(13)を有することを特徴とする表面電位計。
請求項（抜粋）：
所定の試料の表面に帯電した電荷による電位を測定する表面電位計において、前記試料に対応して配置された誘導電極と、前記誘導電極と協同して交流信号を生成する手段と、前記交流信号生成手段の出力信号を増幅する増幅器と、前記増幅器の出力を検波する検波器と、前記検波器に接続されたピークホールド回路を有することを特徴とする表面電位計。
FI (2件)：
G01R 29/12 D
, G01R 29/12 A
