光記録媒体の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-243413
公開番号（公開出願番号）：特開平9-143705
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】【課題】保存安定性にすぐれ、長寿命で、オーバーライトの繰返し耐久性に優れた光記録媒体を容易かつ安定に製造する。【解決手段】少なくとも第一誘電体層/記録層/第二誘電体層と反射層からなる積層構造を有する相変化型光記録媒体の製造において、第一誘電体層、または第二誘電体層の形成を行うのに、少なくともカルコゲン化合物、酸化物および炭素を含むターゲットであって、該ターゲットはカルコゲン化合物と酸化物および炭素の混合物を成型・焼成してなるものであり、炭素の含有率がターゲット全体の20モル%未満であるスパッタリングターゲットを用いることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも第一誘電体層/記録層/第二誘電体層と反射層からなる積層構造を有する光記録媒体の製造において、第一誘電体層および/または第二誘電体層の形成を行うのに、少なくともカルコゲン化合物、酸化物および炭素を含むターゲットであって、該ターゲットがカルコゲン化合物と酸化物および炭素の混合物を成型・焼成してなるものであり、炭素の含有率がターゲット全体の20モル%未満であるスパッタリングターゲットを用いたスパッタリングにより行うことを特徴とする光記録媒体の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 14/34 , G11B 7/26 531 , C23C 14/06

FI (4件)：

C23C 14/34 A , G11B 7/26 531 , C23C 14/06 L , C23C 14/06 T

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