パルスガスレーザ発振装置とそれを用いたレーザアニール装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大胡典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323119
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163447
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】パルスガスレーザ発振装置とそれを用いたレーザアニール装置で、所望のパルス波形をレーザ発振効率を低下させることなく得る。【解決手段】パルスレーザ発振装置において、ピーキングコンデンサ7a、7b、7cはそれぞれ異なるインダクタンス値を持つリアクトル8a、8b、8cを介して主放電電極10に対して並列に複数段接続し、かつ、パルス圧縮回路ユニット17とピーキングコンデンサ7a、7b、7cを接続する電源接続部33の接続に係るインダクタンスを可変構造にすることによりレーザ発振効率を低下させることなく、これまで困難であったレーザ光強度のパルス波形を任意に変化させることが可能にした。また、このパルスレーザ発振装置をレーザアニール装置に用いることにより、アニールに適したパルス幅の長いレーザ光を被処理体に照射することを可能にした。

請求項（抜粋）：

励起ガスが封入された容器と、この容器内の所定位置に対向して設けられた一対の主放電電極と、この主放電電極に対して配置された複数対の予備電離電極と、前記各電極間に供給する電力を発生するパルス電源部と、この電源部からの電力を蓄電する前記一対の主放電電極に並列に接続されたピーキングコンデンサと、前記パルス電源部とピーキングコンデンサを電気的に接続する電源接続部と、前記主放電電極の間で励起された光を増幅する光共振器とを具備するパルスレーザ発振装置において、上記ピーキングコンデンサはそれぞれが異なるインダクタンス値を持つリアクトルを介して主放電電極に対して並列に複数段接続された構成であり、かつ、上記電源接続部はこの接続に係るインダクタンス値が可変構造であることを特徴とするパルスガスレーザ発振装置。

IPC (3件)：

H01S 3/097 , H01L 21/20 , H01L 21/268

FI (3件)：

H01S 3/097 A , H01L 21/20 , H01L 21/268 J

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