特許

J-GLOBAL ID：200903060140605369

表面性状測定プローブ

発明者： 西村 国俊 ,  西沖 暢久
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-254923
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074441
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 表面性状測定プローブのスタイラスを支持する軸受部分の摩擦力および遊びを低減する。【解決手段】 アーム14の先端にスタイラス12が取り付けられている。アーム14にはアーム軸16が設けられ、アーム軸16に係合するピボットベアリング20を介してフレーム18に回動可能に支持されている。フレーム18には、圧電素子34が貼付されている。圧電素子34に交流電圧を印加するとピボットベアリング20に微小振動が発生し、これによって軸受の摩擦力が低減する。摩擦力が低減されるので、通常であれば摩擦力の増加につながる遊びをつめることも可能となる。摩擦力低減、遊びの縮小により、スタイラスの変位と、この変位の検出値の間の直線性が向上し、測定精度が向上する。

請求項（抜粋）：

測定対象面に倣って移動するスタイラスと、前記スタイラスを保持する保持手段と、前記スタイラスの測定対象面に倣った動きを許容するように前記保持手段を支持する支持手段と、前記支持手段の前記保持手段との接触部および前記保持手段の前記支持手段との接触部の少なくとも一方に、前記スタイラスと前記測定対象面の測定点における前記測定対象面の略接平面内の振動を与える加振手段と、を有する表面性状測定プローブ。

IPC (4件)：

G01B 21/20 ,  G01B 21/20 101 ,  G01B 21/30 ,  G01B 21/30 101

FI (4件)：

G01B 21/20 P ,  G01B 21/20 101 P ,  G01B 21/30 Z ,  G01B 21/30 101 Z

Fターム (14件)：

2F069AA56 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069DD19 ,  2F069DD30 ,  2F069GG01 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069LL03 ,  2F069LL07 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32