特許
J-GLOBAL ID：200903060140833213
多出力慣性検知デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-521483
公開番号（公開出願番号）：特表2005-500540
出願日： 2002年07月31日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
慣性センサは、シリコン・ウエハ上に配置された複数の検知要素を含む。検知要素の各々は異なる慣性範囲を検知する。検知要素は、共通の信号調整回路に電気的に接続されており、信号調整回路は検知要素の各々に応じて出力信号を発生する。信号調整回路の出力は、少なくとも1つの制御システムに電気的に接続されており、異なる範囲の出力信号を制御システムに供給する。
請求項（抜粋）：
物体に取り付けられるように適合された慣性センサであって、
ベース部材と、
前記ベース部材上に配置された複数の検知要素であって、前記物体の運動パラメータの変化を検知するように作動可能である検知要素と、
前記検知要素に電気的に接続された少なくとも1つの信号調整回路であって、該信号調整回路は少なくとも1つの制御システムに電気的に接続されるように適合され、前記物体の前記運動パラメータの変化の関数である電気信号を発生するように作動可能である信号調整回路と、
を備える慣性センサ。
IPC (3件)：
G01P15/08
, G01C19/00
, G01P3/44
G01P15/08 Z
, G01C19/00 Z
, G01P3/44 Z
審査官引用 (11件)
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半導体振動・加速度検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-218455
出願人：日本電装株式会社
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特開平3-114272
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角速度センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-322617
出願人：株式会社村田製作所
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