特許

J-GLOBAL ID：200903060145751240

減圧気化冷却装置

発明者： 森井 高之
出願人/特許権者： 株式会社テイエルブイ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-352415
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164445
出願日： 1991年12月13日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】 減圧気化冷却装置において、気化冷却水の供給が、被冷却物容器の全面に且つ均一に行われるようにして、減圧気化冷却の効率を高めること。【構成】 反応釜11の外周にジャケット部15を設ける。ジャケット部15の上方と中央と下方に温度センサ-1,2,3を取り付ける。ジャケット部15の上方に冷却水供給ノズル16,17を取り付ける。ノズル16,17を弁装置8と26を介して冷却水供給管40と接続する。ジャケット部15は連通路21を介して、エゼクタ32を組合せた真空ポンプ装置22と連通する。

請求項（抜粋）：

被冷却物容器に接して気化冷却室を形成し、冷却水を気化冷却室に流入し、気化冷却室を真空ポンプで減圧して、被冷却物を気化冷却するものにおいて、冷却水を気化冷却室に供給する供給ノズルを設け、被冷却物容器表面の温度を検出する温度検出手段を取り付け、該温度検出手段からの信号により上記冷却水供給ノズルの通過水量を調節する水量調節手段を設けた減圧気化冷却装置。