特許

J-GLOBAL ID：200903060148558432

ステージ装置とこれを用いたシステム

発明者： 是永 伸茂 ,  岩本 和徳 ,  深川 容三 ,  浅野 俊哉 ,  高橋 悟
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-032053
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252026
出願日： 1993年02月22日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 高速、高精度であり、ストロークが大きく低発熱な移動ステージ装置を提供する。【構成】 所定の移動範囲を有するXステージ104、Yステージ105と、Xステージ104、Yステージ105を、それぞれ、前記移動範囲全体にわたって駆動可能な、第1の駆動手段である、Xリニアモータ106A、106BおよびYリニアモータ107A、107Bと、Xステージ104、Yステージ105を、それぞれ、前記移動範囲全体にわたって駆動可能な第2の駆動手段である、Xねじ軸110およびYねじ軸121A,121Bが連結されたXモータ108およびYモータ109A、109Bとを有し、Xねじ軸110およびYねじ軸121A,121BとXステージ104およびYステージ105とが、それぞれ移動方向に変形可能な、X板ばね115およびY板ばねを介して連結されている。

請求項（抜粋）：

可動ステージを、所定範囲に渡って駆動可能な、微移動用の第1駆動手段と、前記可動ステージを、前記所定範囲と実質的に同一範囲に渡って駆動可能な、粗移動用の第2駆動手段とを有することを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 1/18 ,  B23Q 5/22 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-181198
  
• 特開昭62-168311
  
• 特開平1-181522
  
• 特公昭52-028322