特許
J-GLOBAL ID：200903060160774035
混合器、薄膜製造装置及び薄膜製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
東田 潔
, 山下 雅昭
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2002012657
公開番号（公開出願番号）：WO2003-048413
出願日： 2002年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月12日
要約：
二つのガス導入管5、6のガス導入口5a、6aを互いに対向するよう設けた撹拌室2と、混合ガスの拡散室3とを有し、撹拌室と拡散室との間に撹拌室容積よりも拡散室容積が大きくなるように仕切り板4を設け、仕切り板には、二つのガス導入口を結ぶ直線の鉛直方向下側の所定位置に一つのガス吹き出し口7を設けてなる、重量の異なるガスを均一に混合することができる混合器1、混合器1を備えた薄膜製造装置、及び混合器で混合した成膜ガスを用いた薄膜製造方法。また、真空反応室2内部のステージ53の側壁に密着して円筒形状のスリーブ部材61を設け、スリーブ部材と反応室内壁面との間を介し、排ガスがガスヘッドとステージとの間の第1空間内で対流することなく等方排気されるように、真空排気手段の接続されたステージ下側の第二空間の容積が第1空間の容積より大きくなる位置にステージの高さを設定した、乱流、対流及び熱対流の発生を抑えて混合ガスのガス流を均一にできる薄膜製造装置。
請求項（抜粋）：
重量の異なるガスを導入するための二つのガス導入管がそれぞれのガス導入口を互いに対向するようにして設けられたガス攪拌・混合用攪拌室と、攪拌・混合されて得られた混合ガスを拡散させる拡散室とを有し、該攪拌室と該拡散室との間に、該攪拌室の容積よりも該拡散室の容積の方が大きくなるように仕切り板を設け、該仕切り板に、該それぞれのガス導入口を結ぶ直線の鉛直方向下側の所定位置に一つのガス吹き出し口を設け、該ガス吹き出し口を介して該混合ガスが該攪拌室から該拡散室へと拡散されるように構成されていることを特徴とする混合器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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