特許
J-GLOBAL ID：200903060166781068
二軸傾斜センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 定次 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-025614
公開番号（公開出願番号）：特開平8-219780
出願日： 1995年02月14日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 誤差要因を解消し、高い分解能と再現性及び安定検出を高め、傾斜角度ゼロの高い水平度を、姿勢制御により確保できるところの二軸傾斜センサを提供することを目的とする。【構成】 底面28を水平とした絶縁材料から成るセンサ保持体1に形成した円形液室用凹部11の内底に、底面28に対して鉛直で中心位置に貫設されたイオン化傾向の低い18K (Au)からなる一本のコモン電極2と、該コモン電極2と同材質であって中心を通る水平方向二軸線と所定半径円の交点位置に前記底面28に対してに鉛直に貫設され且つ表面積を均一にした四本の外周電極3とを設け、前記センサ保持体1の前記円形液室用凹部11の開口部を、面粗度をJIS Rmax 0.2S 以下とした球面凹部9を内面としたガラス製の窓板4で液密状態に閉塞し、密閉された円形液室用凹部11内へ、溶媒としてH2O 、溶質としてMgSO4 、溶液として無水CH3OH を、電極相互間インピーダンス10KΩとなる比率で混合した電解液7と気泡8とを、コモン電極2が気泡8に触れることなく常に電解液7に浸漬されるように封入した構成。
請求項（抜粋）：
底面を水平面とし、平面中心部に液室用凹部を形成した絶縁材料から形成したセンサ保持体の前記液室用凹部の内底の中心に、コモン電極を液密状態に貫通して鉛直に貫設するとともに、前記液室用凹部の内底の中心を通る水平直交二軸線と所定半径円の交点位置に、前記コモン電極よりも高く突出する表面積を均一とした外周電極を、液密状態に貫通して鉛直に貫設し、前記センサ保持体の開口部を、中心部または全面を面粗度の高い球面凹部に形成したガラス等の絶縁材料からなる窓板で、該窓板の球面凹部を内面とし且つ中心を前記コモン電極の中心軸線に一致させて液密状態に閉塞し、該閉塞された液室用凹部内に、気泡と、表面張力が小さく電極相互間のインピーダンスが水平状態において所定値となる比率に混合された電解液とを、コモン電極が常に電解液に浸漬する量だけ封入したことを特徴とする二軸傾斜センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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