斜入射干渉計用干渉縞パターン弁別器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：柳田征史 , 佐久間剛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-526198
公開番号（公開出願番号）：特表2005-534923
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：

光透過性平面平行試験平板に関する平坦性及び厚さ変動情報を、いずれのタイプの情報も含む重畳された干渉パターンを弁別するように改変された斜入射干渉計によって求める。干渉計のかすめ角が変えられ、重畳された干渉パターン内の局所干渉縞強度の一意的な変調周波数が同定される。異なる干渉パターンに起因する局所干渉縞強度はそれぞれの変調周波数によって識別される。

請求項（抜粋）：

斜入射干渉計を用いる光透過性平面平行平板を測定する方法において、基準表面及び少なくとも2つの相異なる干渉パターンをつくる前記光透過性平板の2つの公称平行表面のいずれからも非垂直かすめ角で光ビームを反射させる工程、前記基準表面と前記光透過性平板の前記2つの公称平行表面の内の1つの表面の間に形成される前記干渉パターンの内の第1の干渉パターンを、前記光透過性平板の前記2つの公称平行表面の間に形成される前記干渉パターンの内の第2の干渉パターン上に重畳する工程、前記重畳された干渉パターンのそれぞれの局所干渉縞強度が少なくとも1周期にわたり偏移する角度範囲にかけて前記ビームの前記非垂直かすめ角を変化させる工程、前記重畳された干渉パターンの内の1つの干渉パターン内で前記局所干渉縞強度が偏移する変調周波数を求める工程、及び前記1つの干渉パターンから位相情報を引き出すために前記変調周波数で変化する前記局所干渉縞強度を評価する工程、を有してなることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

G01B9/02 , G01B11/06 , G01B11/30

FI (3件)：

G01B9/02 , G01B11/06 G , G01B11/30 101A

Fターム (32件)：

2F064AA09 , 2F064BB03 , 2F064FF01 , 2F064GG12 , 2F064GG13 , 2F064GG44 , 2F064GG51 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064JJ02 , 2F064JJ04 , 2F064JJ15 , 2F065AA30 , 2F065AA47 , 2F065BB01 , 2F065BB22 , 2F065CC21 , 2F065FF51 , 2F065GG06 , 2F065HH02 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL13 , 2F065LL46 , 2F065LL49 , 2F065NN08 , 2F065QQ03 , 2F065QQ16 , 2F065QQ17

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第4325637号明細書

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