特許
J-GLOBAL ID：200903060172591548
電子放出素子、電子源基板、及び画像形成装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-069001
公開番号（公開出願番号）：特開平9-245622
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 短時間に低コストで、且つ容易に大面積において電子放出素子を形成することができる表面伝導型電子放出素子ならびにそれを有する電子源基板および画像形成装置を提供する。【解決手段】 一対の素子電極2,3間に、導電膜4を形成するための材料の溶液を液滴の状態で付与して導電膜を形成し、そしてこの導電膜に電子放出部5を形成する電子放出素子の製造方法において、複数または単数のノズルを有するインクジェット方式の液滴付与手段を用い、このノズルを素子電極間のギャップ方向に走行させながら、付与される液滴によって形成されるドットの直径より短い間隔で複数の材料溶液の液滴を付与する。
請求項（抜粋）：
一対の素子電極間に、導電膜を形成するための材料の溶液を液滴の状態で付与して導電膜を形成し、そしてこの導電膜に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法において、複数または単数のノズルを有するインクジェット方式の液滴付与手段を用い、このノズルを前記素子電極間のギャップ方向に走行させながら、付与される液滴によって形成されるドットの直径より短い間隔で複数の前記材料溶液の液滴を付与することを特徴とする電子放出素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 B
, B41J 3/04 103 B
