特許
J-GLOBAL ID：200903060173368915

イオンエッチングによる圧電共振子の共振周波数調整装置及び共振周波数調整方法

発明者：
ジョン アール ライツ

ジョン アール ライツ について


出願人/特許権者：
株式会社昭和真空

株式会社昭和真空 について


代理人 (1件)： 岡部 正夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-103164
公開番号（公開出願番号）：特開2003-298374
出願日： 2002年04月05日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：
【要約】【課題】 イオンエッチングによる圧電共振子の共振周波数調整装置に関し、高精度で効率の良い調整方式を提供する。【解決手段】 搬送用トレー30には圧電共振子2がマトリクス状配列態様でセットされる。イオンガン60の各開口部61,62の間隔は前記配列の行方向間隔dのN倍(Nは2以上の整数)に設定してある。イオンビームはビーム制御板50とマスク板40を介して2列の各圧電共振子2に放射される。制御モジュール70は、ピン21,22を通じて各圧電共振子2の共振周波数を計測しながらビーム制御板50のシャッター51a,52aを開閉制御し、手前側の列の各圧電共振子2を予備的周波数に、前方側の列の各圧電共振子2を目的周波数に調整した後、搬送用トレー30をステップdだけ進める。予備的周波数に調整した各圧電共振子2は自然冷却されて目的周波数の調整段階へ移行する。
請求項（抜粋）：
真空槽内で圧電共振子の共振周波数をイオンエッチングによって調整する装置において、圧電共振子を嵌合させる凹部がマトリクス状配列態様で多数形成されていると共に、その各凹部の底壁には前記圧電共振子が嵌合した際にその電極を露出させる孔が形成されており、前記マトリクス状配列の行方向へ移動可能に支持された搬送用トレーと、2つの直線状の開口部が前記マトリクス状配列に係る行方向間隔のN倍(但し、Nは2以上の整数)だけ離隔させて平行に配置されており、その各開口部を通じて前記搬送用トレーにおける2列の各孔の形成領域に対してイオンビームを放射するイオンガンと、前記搬送用トレーと前記イオンガンの間に設置され、前記搬送用トレーの2列の各孔が前記イオンガンの各開口部と平面的に対応する位置に移動した状態で、前記2列の各孔と平面的に対応する位置にシャッター付きの開口窓が設けられたビーム制御板と、前記搬送用トレーにおける各凹部の形成面側に、その形成面と垂直な方向へ移動可能に支持されており、前記搬送用トレーによって前記イオンガンの各開口部に対応する位置へ搬送された各圧電共振子の電気接続端子に接続せしめられる各コンタクトピンが配設されているコンタクトパッドと、前記コンタクトパッドの各コンタクトピンを介して各圧電共振子の共振周波数を個別に計測する周波数計測手段と、前記搬送用トレーを前記マトリクス状配列の行方向間隔を単位ステップとして移動させる搬送制御手段と、前記コンタクトパッドの位置を制御して各コンタクトピンと各圧電共振子の電気接続端子との接続/非接続状態を構成する接続制御手段と、前記計測手段の計測結果に基づいて前記ビーム制御板の各シャッターを個別に開閉制御するシャッター制御手段とを具備し、前記コンタクトパッドのコンタクトピンを前記搬送用トレーによって前記イオンガンの各開口部に対応する位置へ搬送された2列の各圧電共振子の電気接続端子に接続せしめ、前記搬送用トレーにおける前記2列の各圧電共振子に対してそれらの共振周波数を計測しながら前記ビーム制御板の各シャッターを開閉制御してイオンビームによるエッチングを実行し、その2列の内、前記搬送用トレーの前進方向に関して後方側の列に属する圧電共振子の共振周波数が目的周波数よりも低く設定された予備的周波数に、また前方側の列に属する圧電共振子の共振周波数が前記目的周波数に達した段階で、前記コンタクトパッドのコンタクトピンと前記2列の各圧電共振子の電気接続端子とを非接続状態にして前記搬送用トレーを前記単位ステップ分だけ前進させる制御動作を繰り返すことを特徴としたイオンエッチングによる圧電共振子の共振周波数調整装置。
IPC (2件)：
H03H 3/04 ,  H01L 21/302 201
FI (3件)：
H03H 3/04 A ,  H03H 3/04 B ,  H01L 21/302 201 B
Fターム (7件)：
5F004AA16 ,  5F004BA17 ,  5F004BD07 ,  5F004CA09 ,  5F004EB08 ,  5J108NA01 ,  5J108NB02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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