特許
J-GLOBAL ID：200903060173469177
電子部品の外観検査装置および外観検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154764
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012749
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】 カメラとレーザ発振器により、基板に半田付けされた電子部品や半田の外観を検査する外観検査装置において、検査に要する時間を大幅に短縮できる手段を提供する。【構成】 基板1に搭載された電子部品P1,P2・・・を真上から観察するようにカメラ7を配置する。またカメラ7の垂直な光路の周囲にレーザ発振器9から照射されたレーザ光の受光部15A,15B,15C,15Dを配置することにより、カメラ7の視野Aとレーザ光の照射エリアBを合致させる。したがってカメラ7による電子部品P1の画像データの取り込みと、受光部15A〜15Dによる半田S1の高さ分布計測を同時に行うことにより、XYテーブル2の移動回数を少なくし、検査時間を短縮できる。
請求項（抜粋）：
基板に半田にて接着された電子部品を真上から観察するカメラと、この電子部品に向かって照明光を照射する光源と、前記カメラの視野に重なるように設定された照射エリアに上方から計測光を照射する光照射器と、前記照射エリアの斜上方に配設されて前記光照射器から照射されて前記半田に反射された計測光の反射光を受光する受光部と、前記基板を前記カメラや光照射器に対して相対的に水平方向に移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする電子部品の外観検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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