特許
J-GLOBAL ID：200903060174666154
回転振動型角速度センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平山 一幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-069014
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264729
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】 全体を小型化し得ると共に、角速度を高精度で検出でき、しかも振動子を容易に真空封止し得るようにした、回転振動型角速度センサとその製造方法を提供する。【解決手段】 二枚の互いに対向して配設したガラス基板11,12と、ガラス基板の間に配設したシリコンフレーム20とにより三層構造に構成し、シリコンフレーム20に、中空部内のベース23に対してT字形支持ビーム22を介して支持した円環状の振動子の重り21を形成し、各ガラス基板の内面に、櫛歯状の静電駆動用電極11a1,12a1と容量検出用電極11a2,12a2とを形成しており、T字形支持ビーム22を、固定部から互いに反対方向に延び且つその先端から両側に延びるようにT字形に形成し、さらに振動子に対して上下に対称性を有するように、回転振動型角速度センサ10を構成する。
請求項（抜粋）：
中央の固定部から中空に対称に延びる複数の支持ビームと、この支持ビームで支持する円環型重りと、この円環形重りの上面及び下面の所定領域に固定部を中心にして放射状に形成した複数の溝と、この溝の凸部の上面及び凹部の底面に形成した電極とを備える振動子と、この振動子を内部に配設したフレームと、容量検出用電極と上記振動子の溝の凸部及び凹部に形成した電極にずれて対向する櫛歯状の静電駆動用電極とを下面に有する上部ガラス基板と、この上部ガラス基板の容量検出用電極と櫛歯状の静電駆動用電極とにそれぞれ対向した容量検出用電極と櫛歯状の静電駆動用電極とを上面に有する下部ガラス基板とを備え、上記フレームを上記上部ガラス基板と上記下部ガラス基板との間に挟み、上記振動子を上記上部ガラス基板及び下部ガラス基板から等位置に封止した三層構造をして成る、回転振動型角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84 Z
