特許

J-GLOBAL ID：200903060179551649

インクジェットヘッドの作製方法

発明者： 池田 宏 ,  細貝 耕三 ,  弥勒 美彦 ,  森 豊 ,  田端 伸司 ,  小竹 直志 ,  三鍋 治郎 ,  三澤 誠
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 石井 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-360548
公開番号（公開出願番号）：特開平5-177837
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月20日
要約：

【要約】【目的】 ノズル面への薄膜層の形成のための作製工程の増加を抑えて行なうことにより、作業効率を改善し、生産コストの低減を図る。【構成】 ヒーターウエハ1とチャネルウエハ2とを接合した後、切削溝5を形成して、ノズル面を露出させる。この状態で薄膜層15を着膜する。その後、個々のチップに分離して、インクジェットヘッドを作製する。ノズル面が同じ材料で着膜されているから、インクの吐出特性が良好となる。ノズル面への薄膜層の形成を個々のチップに分離する以前に行なうことにより、作製工程の増加を抑えることができる。

請求項（抜粋）：

2枚以上の基板を接合した後、個々のチップに切断し、切断面がインク吐出のノズル面となるインクジェットヘッドの作製方法において、2枚の基板を接合する工程と、ノズル面を露出する溝を形成する工程と、前記溝のノズル面に薄膜層を着膜する工程と、前記溝の底部を切断する工程を含め個々のチップに切断する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの作製方法。