特許

J-GLOBAL ID：200903060180053903

SR光源を用いたX線装置

発明者： 尾崎 禎彦
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-152186
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017715
出願日： 1994年07月04日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 X線ミラーを有するX線装置の立ち上げ時やX線ミラーの交換に際してSRリング自身、および1台のSRリングに接続された他の複数のX線装置の通常運転状態に影響を及ぼすことなくX線ミラーのSR光による枯らしを効率よく実施しようとするものである。【構成】 SR光源から放出されるSR光を真空雰囲気中に配置されたX線ミラー6に照射するように構成したX線装置において、SR光源とX線ミラーとの間に強度調整フィルター66を備え、SR光源からX線ミラーへ照射されるSR光の強度を調整しながら枯らし運転を実施するようにした。また、強度調整フィルターは、気体圧力を変化させることによりSR光の気体中での線吸収係数を変化させてSR光強度を調整するように構成したものである。

請求項（抜粋）：

SR光を放出するSR光源、真空雰囲気中に配置され上記SR光源からのSR光を受け所定方向に反射するX線ミラー、および上記SR光源と上記X線ミラーとの間に設けられ、上記SR光源から上記X線ミラーへ照射されるSR光の強度を調整する強度調整フィルターを備えたことを特徴とするSR光源を用いたX線装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  H05G 1/02