特許
J-GLOBAL ID：200903060184978928
表面形状測定方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-136786
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329425
出願日： 2002年05月13日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、被測定物自体の模様や汚れに左右されずに段差等の急激な形状変化が存在する被測定物の表面形状を測定できる表面形状測定方法及びその装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の表面形状測定方法は、モアレ縞の位相を走査し、その走査時に生じるモアレ縞強度変化の周期を測定し、測定したモアレ縞強度変化の周期に基づいて被測定物の表面形状を測定する。
請求項（抜粋）：
平面格子の影を光源から出た光によって、被測定物表面上に投影し、前記影を格子又は当該格子と別の格子を通して観察点で得て、平面格子の影によって生じるモアレ縞を利用して被測定物の表面形状を測定する表面形状測定方法において、モアレ縞の位相を走査し、その走査時に生じるモアレ縞強度変化の周期を測定し、測定したモアレ縞強度変化の周期に基づいて被測定物の表面形状を測定することを特徴とする表面形状測定方法。
Fターム (10件)：
2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065BB22
, 2F065CC22
, 2F065FF08
, 2F065LL41
, 2F065MM14
, 2F065MM24
, 2F065MM28
, 2F065UU05
