特許
J-GLOBAL ID：200903060188440230
部分めっき装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-173417
公開番号（公開出願番号）：特開平9-025594
出願日： 1995年07月10日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、めっき金属粒の発生などの部分めっき不良を防止することができる部分めっき装置を提供することを目的としている。【構成】 内部よりめっき液Lが供給される開口10を有するスパージャ1と、スパージャ1と共に貫通部を有する板状の被めっき材Fを挟持し、該貫通部を覆うマスク・スポンジ3とを有する部分めっき装置であって、マスク・スポンジ3は、発泡シリコンゴムで形成されていることを特徴とする。シリコンゴムの絶縁性または撥水性により、被めっき材F以外の部分に銀粒が発生することがなくなる。また、12〜16度のゴム硬度のマスク・スポンジ3では、マスキングが適正になされ、エリア外析出とめっき部分未着不良も防止される。
請求項（抜粋）：
内部よりめっき液が供給される開口を有するスパージャと、該スパージャと共に貫通部を有する板状の被めっき材を挟持し、該貫通部を覆うマスクスポンジとを有する部分めっき装置であって、前記マスクスポンジは、発泡シリコンゴムで形成されていることを特徴とする部分めっき装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C25D 5/02 D
, H01L 23/50 D
