特許
J-GLOBAL ID:200903060189437160

薄板検査装置における照明装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 押田 良久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-108476
公開番号(公開出願番号):特開平9-273919
出願日: 1996年04月04日
公開日(公表日): 1997年10月21日
要約:
【要約】【課題】 同一光源で無光沢および光沢めっきのいずれを施した薄板でも検査、測定することができる薄板検査装置における照明装置を提供する。【解決手段】 複数個のパターンが一定の間隔を隔てて繰り返し付与される形状の被検査薄板を水平方向に一定速度で連続的に搬送する手段と、前記薄板の上方から該薄板を照射する反射用光源と、前記薄板の下方から該薄板を透過するように照射する透過用光源と、前記薄板の上方に設けられ、前記光源からの照射により得られた反射光および透過光による該薄板の像を少なくとも1パターンごとに撮像する手段と、撮像した画像の濃淡を検出して数値化処理する手段と、数値化された検出結果を少なくとも1パターンごとに交互に入力して記憶させるための手段と、該記憶された数値を交互に取り出して予め定められた基準値と比較し、被検査薄板の表面欠陥、寸法精度を解析する手段とよりなる薄板検査装置の照明装置であって、前記反射用光源としてリング光源を使用するとともに、前記透過用光源としてライン光源を使用することを特徴とする。
請求項(抜粋):
複数個のパターンが一定の間隔を隔てて繰り返し付与される形状の被検査薄板を水平方向に一定速度で連続的に搬送する手段と、前記薄板の上方から該薄板を照射する反射用光源と、前記薄板の下方から該薄板を透過するように照射する透過用光源と、前記薄板の上方に設けられ、前記光源からの照射により得られた反射光および透過光による該薄板の像を少なくとも1パターンごとに撮像する手段と、撮像した画像の濃淡を検出して数値化処理する手段と、数値化された検出結果を少なくとも1パターンごとに交互に入力して記憶させるための手段と、該記憶された数値を交互に取り出して予め定められた基準値と比較し、被検査薄板の表面欠陥、寸法精度を解析する手段とよりなる薄板検査装置の照明装置であって、前記反射用光源としてリング光源を使用するとともに、前記透過用光源としてライン光源を使用することを特徴とする薄板検査装置における照明装置。

前のページに戻る