特許
J-GLOBAL ID：200903060195033534
異物検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096071
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292360
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 検査対象基板上の微細な異物であっても、これを誤検出することなく確実にしかも短時間で効率よく検出することをができる異物検査方法を提供すること。【解決手段】 検査対象基板1の表面に対してレーザ光Lを走査しながら照射し、そのときの検査対象基板1の表面からの散乱光Rを光検出器14に入射させ、この光検出器14による散乱Rの検出結果に基づいて検査対象基板1の表面における異物の存在の有無を検査し、異物が存在するか存在の可能性がある場合には、当該異物の存在位置情報に基づいて光学顕微鏡15の視野を前記位置に導入し、光学顕微鏡15で当該位置を拡大によって観察し、この観察像をカメラ16によって画像情報として取り込み、この取り込まれた画像情報に基づいて最終的に異物の存在の有無を確認するようにした。
請求項（抜粋）：
検査対象基板の表面に対してレーザ光を走査しながら照射し、そのときの検査対象基板の表面からの散乱光を光検出器に入射させ、この光検出器による散乱光の検出結果に基づいて検査対象基板の表面における異物の存在の有無を検査し、異物が存在するか存在の可能性がある場合には、当該異物の存在位置情報に基づいて光学顕微鏡の視野を前記位置に導入し、光学顕微鏡で当該位置を拡大によって観察し、この観察像をカメラによって画像情報として取り込み、この取り込まれた画像情報に基づいて最終的に異物の存在の有無を確認するようにしたことを特徴とする異物検査方法。
Fターム (13件)：
2G051AA51
, 2G051AA56
, 2G051AA73
, 2G051AB01
, 2G051BA10
, 2G051BC05
, 2G051CA02
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA11
, 2G051CB05
, 2G051DA07
, 2G051EA14
