特許

J-GLOBAL ID：200903060197697570

窒化アルミニウム焼結体およびそれを用いた静電チャック

発明者： 佐藤 伸也 ,  石田 弘徳 ,  塩貝 達也
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-116110
公開番号（公開出願番号）：特開2003-313078
出願日： 2002年04月18日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】【課題】 高温において高い体積抵抗率を有する窒化アルミニウム焼結体およびそれを用いた静電チャックを提供すること。【解決手段】 平均粒径4μm以下であり、助剤としてイットリウム酸化物を0.3〜10mass%添加してなる緻密質の窒化アルミニウム焼結体を得る。この窒化アルミニウム焼結体を被吸着体を吸着する誘電体層2として用い、その下に設けられた電極3に電圧を印加することにより被吸着体10を吸着する。

請求項（抜粋）：

平均粒径4μm以下であり、助剤としてイットリウム酸化物を0.3〜10mass%添加してなる緻密質焼結体であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/581 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  C04B 35/58 104 F ,  C04B 35/58 104 D

Fターム (16件)：

4G001BA01 ,  4G001BA07 ,  4G001BA09 ,  4G001BA36 ,  4G001BB01 ,  4G001BB07 ,  4G001BB09 ,  4G001BB36 ,  4G001BD23 ,  4G001BD38 ,  4G001BE22 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16