複合酸化物薄膜フィルムの製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-027332
公開番号（公開出願番号）：特開平7-102363
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：

【要約】【目的】真空蒸着における長尺複合酸化物薄膜フィルムの製造方法を提供することにある。【構成】真空蒸着による複合酸化物薄膜の作成において、蒸着源を単位酸化物組成毎の複数に分け、加熱源としては少なくとも、1つの電子銃を用いることによって、プラスチックフィルム上に長さ方向に均一に1回で蒸着することを特徴とする長尺複合酸化物薄膜フィルムの製造方法である。

請求項（抜粋）：

真空蒸着による複合酸化物薄膜の作成において、蒸着源を単位酸化物組成毎の複数に分け、加熱源としては少なくとも、1つの電子銃を用いることによって、プラスチックフィルム上に蒸着することを特徴とする長尺複合酸化物薄膜フィルムの製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/24 , B32B 9/00 , C08J 7/06 , C23C 14/08

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開昭63-261337
特開昭63-244530
特開昭56-027123

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