特許
J-GLOBAL ID：200903060204594536
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
東口 倫昭
, 進藤 素子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-114082
公開番号（公開出願番号）：特開2009-267038
出願日： 2008年04月24日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：
【課題】異物除去の確実性が高く、異物除去に関する構造が簡単な基板処理装置を提供することを課題とする。【解決手段】基板処理装置1は、バックアップピン44が配置されるピン配置部位421を有するバックアッププレート42と、ピン配置部位421に配置される前のバックアップピン44が待機するピン待機部430を有するピン保持装置43と、バックアッププレート42の上方において略水平方向に移動可能であると共に、ピン待機部430でバックアップピン44を把持しピン配置部位421でバックアップピン44を解放することにより、バックアップピン44をピン配置部位421に配置する把持装置503と、を備える。基板処理装置1は、さらに、把持装置503がバックアップピン44をピン配置部位421に配置する前に、ピン配置部位421を掃く清掃装置73を備える。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
基板の下方に配置され、該基板の下面を支持する複数のバックアップピンが配置される複数のピン配置部位を有するバックアッププレートと、
複数の該ピン配置部位に配置される前の複数の該バックアップピンが待機する複数のピン待機部を有するピン保持装置と、
該バックアッププレートの上方において上下方向に対して交差する方向に移動可能であると共に、該ピン待機部で該バックアップピンを把持し該ピン配置部位で該バックアップピンを解放することにより、該バックアップピンを該ピン配置部位に配置する把持装置と、
を備えてなる基板処理装置であって、
さらに、前記把持装置が前記バックアップピンを前記ピン配置部位に配置する前に、該ピン配置部位を掃く清掃装置を備えてなることを特徴とする基板処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
5E313AA01
, 5E313AA11
, 5E313AA15
, 5E313CC02
, 5E313DD01
, 5E313DD02
, 5E313DD12
, 5E313DD31
, 5E313EE01
, 5E313EE02
, 5E313EE03
, 5E313EE24
, 5E313EE34
, 5E313FG10
出願人引用 (1件)
-
電子部品実装装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-265615
出願人：松下電器産業株式会社
審査官引用 (3件)
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