特許
J-GLOBAL ID:200903060207983240

ガラス基板

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-264991
公開番号(公開出願番号):特開平11-092170
出願日: 1997年09月10日
公開日(公表日): 1999年04月06日
要約:
【要約】【課題】 基板端面に爪を差し込んでセッターから取り上げても、エッジ部分が欠けることのないガラス基板を提供する。【解決手段】 セッター上に載置され、搬送されるガラス基板において、ガラス基板の肉厚をT、端面先端部を通る基板表面と直交する平面から下面側エッジ部までの最短距離をX1 、端面先端部を通る基板表面と直交する平面から上面側エッジ部までの最短距離をX2 としたときに、ガラス基板端面の少なくとも一部が0.25T≦X1 、X1 ≧X2 の関係を満たす形状にR加工されてなることを特徴とする。
請求項(抜粋):
セッター上に載置され、搬送されるガラス基板において、ガラス基板の肉厚をT、端面先端部を通る基板表面と直交する平面から下面側エッジ部までの最短距離をX1 、端面先端部を通る基板表面と直交する平面から上面側エッジ部までの最短距離をX2 としたときに、ガラス基板端面の少なくとも一部が0.25T≦X1 、X1 ≧X2 の関係を満たす形状にR加工されてなることを特徴とするガラス基板。
IPC (3件):
C03C 4/00 ,  H01J 11/02 ,  H01J 17/16
FI (3件):
C03C 4/00 ,  H01J 11/02 Z ,  H01J 17/16
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭54-000022
  • 特開昭57-034049

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