特許

J-GLOBAL ID：200903060208160662

感光性ガラス基板の安定化方法

発明者： 米田 立美
出願人/特許権者： 株式会社三協精機製作所
代理人 (1件)： 石橋 佳之夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-081703
公開番号（公開出願番号）：特開平5-246728
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：

【要約】【目的】結晶化することによりリチウムイオンなどがガラスの構造中を移動することを抑制し、これを例えば磁気抵抗素子のガラス基板として用いたとき、高温、高湿の条件のもとで使用しても、あるいは高い電圧を印加しても、中点電位の変動を抑制することができる感光性ガラス基板を提供する。【構成】感光性ガラス基板11に熱処理を施す一次熱処理工程2と、一次熱処理工程2で熱処理された感光性ガラス基板11に紫外線を照射する紫外線処理工程4と、紫外線処理された感光性ガラス基板11に熱処理を施す二次熱処理工程5とを備えた。これらの工程を経ることによって感光性ガラス基板が結晶化され、イオンの移動が抑制される。

請求項（抜粋）：

感光性ガラス基板に熱処理を施す一次熱処理工程と、一次熱処理工程で熱処理された感光性ガラス基板に紫外線を照射する紫外線処理工程と、紫外線処理された感光性ガラス基板に熱処理を施す二次熱処理工程とを備えた感光性ガラス基板の安定化方法。

IPC (3件)：

C03B 32/02 ,  C03C 4/04 ,  H01L 43/10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭49-133782
  
• 特開昭59-020630
  
• 特開平4-252751